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離子注入是通過對半導(dǎo)體材料表面進(jìn)行某種元素的摻雜，從而改變其特性的工藝制程，在集成電路（IC）工業(yè)中得到廣泛的應(yīng)用。作為離子注入制程的裝備—離子注入機(jī)，是先進(jìn)IC生產(chǎn)線上最關(guān)鍵的工具之一，每年全球擁有15-20億美金的市場規(guī)模。

與熱擴(kuò)散的摻雜技術(shù)相比，離子注入技術(shù)具有以下特點：單面準(zhǔn)直摻雜、良好的摻雜均勻性和可控性、摻雜元素的單一性，而且很容易實現(xiàn)摻雜區(qū)域的圖形化。

這些特點給晶硅太陽能電池片的制造帶來了熱擴(kuò)散所不具備的優(yōu)勢—不僅可形成高質(zhì)量的PN結(jié)、提高電池的轉(zhuǎn)換效率，而且可大大簡化多種高效電池的制造工序：常規(guī)電池的生產(chǎn)可以省掉去磷硅玻璃和邊緣刻蝕工藝；雙面電池的生產(chǎn)則可免去掩膜工序；此外， 背接觸電池所必需的分區(qū)摻雜可免去對準(zhǔn)工序，這樣便大幅度降低了此類電池的制造成本。離子注入是提高電池效率、制造高效電池經(jīng)濟(jì)、可靠的技術(shù)。

另外，由于省去了例如磷/硼擴(kuò)散、去磷/硼硅玻璃以及邊緣刻蝕等有毒排放工藝，所以離子注入又能顯著降低電池片生產(chǎn)所造成的環(huán)境污染。

但是，IC離子注入機(jī)較低的生產(chǎn)率、昂貴的造價和龐大的占地面積，使得離子注入技術(shù)還沒有在光伏產(chǎn)業(yè)上得以普及應(yīng)用。上海凱世通半導(dǎo)體有限公司根據(jù)太陽能電池工藝的實際情況和需求，為光伏產(chǎn)業(yè)量身訂制了大束流離子注入機(jī)—IonSolar。在硅片的傳輸和離子束流系統(tǒng)上，IonSolar應(yīng)用了多項擁有自主知識產(chǎn)權(quán)的突破性重大技術(shù)：單一注入元素的“簾狀”寬幅離子束可無間斷地“淋浴”到勻速傳輸?shù)膯尉Ч杵希瑢崿F(xiàn)穩(wěn)定、均勻的元素?fù)诫s，并保證了高效的生產(chǎn)率和較低的制造成本，為太陽能電池的產(chǎn)線升級和高效電池的生產(chǎn)提供了一條有效途徑。

IonSolar 特點：

? 生產(chǎn)率高

IonSolar擁有連續(xù)送片功能，單機(jī)產(chǎn)能可達(dá)1800片/小時，使得一條生產(chǎn)線只配備一臺機(jī)器成為可能，完全實現(xiàn)與現(xiàn)有產(chǎn)線產(chǎn)能的良好匹配。

? 占地面積小

IonSolar占地22m²，在不更改現(xiàn)有生產(chǎn)線布局的前提下實現(xiàn)技術(shù)升級。

? 制程成本低

IonSolar制程成本僅為同類產(chǎn)品的60%，投入低，投資回收周期短。

? 本土制造和服務(wù)

歐美質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)，本土化服務(wù)，快速高效。

上海凱世通半導(dǎo)體有限公司由數(shù)位具有成功開發(fā)多代IC離子注入機(jī)經(jīng)驗的海外知名專家團(tuán)隊創(chuàng)立。我們建立了“一絲不茍，精益求精”的企業(yè)文化；我們實現(xiàn)了高質(zhì)量和性能的離子注入機(jī)的國產(chǎn)化；我們邁出了中國制造走上中國創(chuàng)造之路的重要一步！