寬幅離子源與光路系統
超高真空、顆粒污染少化工藝腔體
各向同性精準注入掃描裝置
自主知識產權保護
寬幅離子源與光路系統 超高真空、顆粒污染少化工藝腔體 各向同性精準注入掃描裝置 自主知識產權保護
凱世通光伏離子注入機已開發出四代系列產品。 Ion Solar?, 第一代光伏離子注入設備（2011~2014）具有質量分析，采用金屬托盤傳送，能量5-15KeV, 均勻性2/ma 產能800-1500WPH。 iPV-2000第二代光伏離子注入設備（2014~2017)略去質量分析，采用皮帶水平傳送硅片，避免硅片在載盤傳送中的摩擦損傷。采用固態磷代替磷烷，降低客戶成本，能量5
iPV3000 第三代光伏離子注入設備（2017-）維持皮帶水平傳送硅片和固態磷離子源改進的大束流離子源，束流提升40%增加圖案化注入摻雜功能產能3000WPH。iSolar iPV3000特點:高產能、低成本高密度束流系統，束流密度>4.0mA/cm，實現設備產能3000WPH。采用固態磷作為摻雜源，摻雜成本0.3分/片(RMB)。兼容性強傳送方式簡單。無需修改任何硬件，完全兼容不同
企業簡介
發展歷程
價值觀
榮譽資質
品牌與可靠性
分支機構
人才觀
職位信息
iStellar-500
iPV-6000
iPV-3000
iPV-2000
離子注入
公司新聞
行業新聞
媒體報道
上海凱世通
臨港凱世通
北京凱世通
在線留言
熱線電話：86-21-50808128
版權所有 2022 上海凱世通半導體股份有限公司
EN
CN
