iPV2000
iPV2000 第二代光伏離子注入設備(2014-2017)略去質量分析,采用皮帶水平傳送硅片省去昂貴的磷烷,使用廉價的固態磷產能1500-1700WPH。
iPV-2000特點:
生產率高
iPV-2000擁有連續送片功能,單機產能可達1500片/小時,使得一條生 產線只配備一臺機器成為可能,完全實現與現有產線產能的良好匹配。
占地面積小
iPV-2000占地19m2, 包括自動化設備前端系統在不更改現有生產線布局 的前提下實現技術升級。
制程成本低
優化的束流系統和硅片傳輸設計以及極低的耗材使得離子注入制程成本可與磷擴散爐持平。
本土制造和服務
全面質量管理生產,一流服務質量。上海凱世通半導體有限公司由數位具有成功開發多代IC離子注入機經 驗的海外知名專家團隊創立。我們建立了 “一絲不茍,精益求精”的企業文化;我們實現了高質量和性能的離子注入機的國產化;我們邁出了中國制造走上中國創造之路的重要一步!