iPV3000 第三代光伏離子注入設(shè)備(2017-)維持皮帶水平傳送硅片和固態(tài)磷離子源改進(jìn)的大束流離子源,束流提升40%增加圖案化注入摻雜功能產(chǎn)能3000WPH。
iSolar iPV3000特點(diǎn):
高產(chǎn)能、低成本
高密度束流系統(tǒng),束流密度>4.0mA/cm,實(shí)現(xiàn)設(shè)備產(chǎn)能3000WPH。采用固態(tài)磷作為摻雜源,摻雜成本0.3分/片(RMB)。
兼容性強(qiáng)
傳送方式簡(jiǎn)單。無(wú)需修改任何硬件,完全兼容不同硅片厚度(120-200μm)和尺寸(156-161.75mm)
雙離子源設(shè)計(jì)
保證設(shè)備高uptime。根據(jù)客戶需求,2個(gè)離子源可采用不同的摻雜源,一步實(shí)現(xiàn)p型和n型不同區(qū)域的摻雜。
圖案化注入功能
硅片自對(duì)準(zhǔn)工藝保證對(duì)準(zhǔn)精度,結(jié)合雙離子源實(shí)現(xiàn)圖案化注入。
本土制造和服務(wù)
全面質(zhì)量管理生產(chǎn),一流服務(wù)質(zhì)量。
iPV3000 產(chǎn)品參數(shù):
注入離子 : P+, B+
注入能量: 5 to 15 keV
產(chǎn)能: 3000wph
尺寸 L x W: 5.7m x 2.5m