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產(chǎn)品世界

上海凱世通半導(dǎo)體股份有限公司

產(chǎn)品分類:核心產(chǎn)品

核心產(chǎn)品

IPV-6000

凱世通光伏離子注入機(jī)已開(kāi)發(fā)出四代系列產(chǎn)品。 Ion Solar?, 第一代光伏離子注入設(shè)備（2011~2014）具有質(zhì)量分析，采用金屬托盤傳送，能量5-15KeV, 均勻性2/ma 產(chǎn)能800-1500WPH。 iPV-2000第二代光伏離子注入設(shè)備（2014~2017)略去質(zhì)量分析，采用皮帶水平傳送硅片，避免硅片在載盤傳送中的摩擦損傷。采用固態(tài)磷代替磷烷，降低客戶成本，能量5

核心產(chǎn)品

iStellar-500

寬幅離子源與光路系統(tǒng) 超高真空、顆粒污染少化工藝腔體各向同性精準(zhǔn)注入掃描裝置自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)保護(hù)

核心產(chǎn)品

iPV-3000

iPV3000 第三代光伏離子注入設(shè)備（2017-）維持皮帶水平傳送硅片和固態(tài)磷離子源改進(jìn)的大束流離子源，束流提升40%增加圖案化注入摻雜功能產(chǎn)能3000WPH。iSolar iPV3000特點(diǎn):高產(chǎn)能、低成本高密度束流系統(tǒng)，束流密度>4.0mA/cm，實(shí)現(xiàn)設(shè)備產(chǎn)能3000WPH。采用固態(tài)磷作為摻雜源，摻雜成本0.3分/片(RMB)。兼容性強(qiáng)傳送方式簡(jiǎn)單。無(wú)需修改任何硬件，完全兼容不同

核心產(chǎn)品

iPV-2000

iPV2000iPV2000 第二代光伏離子注入設(shè)備（2014-2017）略去質(zhì)量分析，采用皮帶水平傳送硅片省去昂貴的磷烷，使用廉價(jià)的固態(tài)磷產(chǎn)能1500-1700WPH。iPV-2000特點(diǎn):生產(chǎn)率高iPV-2000擁有連續(xù)送片功能，單機(jī)產(chǎn)能可達(dá)1500片/小時(shí)，使得一條生產(chǎn)線只配備一臺(tái)機(jī)器成為可能，完全實(shí)現(xiàn)與現(xiàn)有產(chǎn)線產(chǎn)能的良好匹配。占地面積小iPV-2000占地19m2, 包括自動(dòng)化設(shè)備前端系

核心產(chǎn)品

離子注入

離子注入是通過(guò)對(duì)半導(dǎo)體材料表面進(jìn)行某種元素的摻雜，從而改變其特性的工藝制程，在集成電路（IC）工業(yè)中得到廣泛的應(yīng)用。作為離子注入制程的裝備—離子注入機(jī)，是先進(jìn)IC生產(chǎn)線上最關(guān)鍵的工具之一，每年全球擁有15-20億美金的市場(chǎng)規(guī)模。與熱擴(kuò)散的摻雜技術(shù)相比，離子注入技術(shù)具有以下特點(diǎn)：?jiǎn)蚊鏈?zhǔn)直摻雜、良好的摻雜均勻性和可控性、摻雜元素的單一性，而且很容易實(shí)現(xiàn)摻雜區(qū)域的圖形化。這些特點(diǎn)給晶硅太陽(yáng)能電池片的制造

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